Ученые ИХТЦ Томского госуниверситета вместе с партнерами разработали полный цикл получения трибромида бора высокой чистоты — вещества, без которого невозможно производство современных полупроводников. Об этом сообщает пресс-служба вуза. Теперь российские предприятия микроэлектроники смогут отказаться от поставок из Китая, Германии и США.
Мощность готовой установки — 24 килограмма вещества в год. Продукт будут упаковывать так, как удобно заказчику: в кварцевые ампулы разного объема или специальные емкости-барботеры.
«Мы не просто учились синтезировать вещество, мы выстраивали законченную технологическую линию с контролем качества на каждом этапе. Для микроэлектроники критически важны стабильные характеристики материалов, малейшее отклонение делает партию непригодной. Поэтому система аналитического контроля здесь не менее значима, чем сам синтез», — рассказала руководитель проекта в ИХТЦ Ася Водянкина.
Сейчас в ИХТЦ формируют портфель заказов от промышленных потребителей. Использование отечественного сырья позволило добиться цены и качества, сопоставимых с зарубежными аналогами. Как отметил директор ИХТЦ Алексей Князев, предприятиям нужен был не просто заместитель импорта, а предсказуемый материал с гарантированными свойствами по конкурентной стоимости. Первые партии высокочистого трибромида бора отправятся заказчикам в этом году.
