В Томском государственном университете систем управления и радиоэлектроники разрабатывают высококонтрастный проявитель для фотолитографии. От качества этого элемента зависит качество российских микросхем. Последние необходимы на замену в телекоммуникационном оборудовании, а также в системах наземной и спутниковой связи.
Сейчас проявители, которые производят в России, не подходят для задач специалистов ТУСУРа. По этой причине они разрабатывают собственные.
Как поясняют в пресс-службе вуза, например, один из элементов монолитных интегральных схем должен иметь длину 500 нм, а допуск на этот размер не должен превышать +/- 25 нм.
«Если использовать проявитель с низким разрешением, то погрешность в размерах составит +/-150 нм. То есть мы получим элемент размером 500 нм и 650 нм. А это уже брак, который сильно снижает количество годных микросхем, усложняет работу проектировщика», — объяснил руководитель проекта, кандидат технических наук Иван Кулинич.
Работы над созданием серии проявителей планируют завершить в 2025 году. Разработка студентов и сотрудников университета привлекательна для предприятий микроэлектроники из Томска, Москвы, Великого Новгорода и Нижнего Новгорода.
